コンテンツへスキップ ナビゲーションに移動

国立大学法人九州工業大学 マイクロ化総合技術センター

  • ホームHOME
    • センターの概要
    • 組織情報
  • 研究開発R&D
    • 特長
    • 利用手順
    • 装置一覧
    • 各種帳票・資料ダウンロード
    • 利用者安全教育(制限ページ)
  • リスキリングセミナーSeminar
    • 製造プロセス(前工程)セミナー
    • 集積回路設計セミナー
    • 過年度実施実績
  • お問い合わせContact
    • よくあるご質問
    • 公開講座申込・お問い合わせ
    • お問い合わせ(試作・その他)
    • 採用情報
  • お知らせInformation
装置詳細
  1. HOME
  2. 装置詳細
  3. プロセス室(1階CR)

プロセス室(1階CR)

結果の1~16/23を表示しています

  • ALD装置

  • Metal系材料ドライエッチング装置

  • PE-CVD装置

  • RCA洗浄槽

  • Si系材料ドライエッチング装置

  • XeF2エッチャー

  • アッシャー1

  • イオン注入装置

  • スパッタ装置2

  • スパッタ装置3

  • スピンドライヤー

  • 厚膜CVD

  • 減圧CVD装置

  • 無機ドラフトチャンバー(HF)

  • 無機ドラフトチャンバー(一般酸)

  • 縦型拡散炉

  • 1
  • 2
  • →
各種資料・帳票
セミナー参加申し込み お問い合わせもこちらから
お問い合わせ
  • プライバシーポリシー
  • サイトマップ
CMSロゴ背景&目透過

Center for Microelectronic Systems
マイクロ化総合技術センター
〒820-8502
福岡県飯塚市川津680-4
国立大学法人 九州工業大学
半導体人材育成・イノベーション推進特区
TEL : 0948-29-7585

アクセス

交通機関のご案内 (九州工業大学マイクロ化総合技術センターへのアクセス方法)

 

Copyright © 国立大学法人九州工業大学 マイクロ化総合技術センター All Rights Reserved.

Powered by WordPress with Lightning Theme & VK All in One Expansion Unit by Vektor,Inc. technology.

MENU
  • ホーム
    • センターの概要
    • 組織情報
  • 研究開発
    • 特長
    • 利用手順
    • 装置一覧
    • 各種帳票・資料ダウンロード
    • 利用者安全教育(制限ページ)
  • リスキリングセミナー
    • 製造プロセス(前工程)セミナー
    • 集積回路設計セミナー
    • 過年度実施実績
  • お問い合わせ
    • よくあるご質問
    • 公開講座申込・お問い合わせ
    • お問い合わせ(試作・その他)
    • 採用情報
  • お知らせ

お気軽にお問い合わせください。0948-29-7585受付時間 8:30-17:00 [ 土・日・祝日除く ]

お問い合わせ
PAGE TOP