無機ドラフトチャンバー(HF) ダン産業製 HSS-2000HF 装置利用料金 学内利用者 ¥1,250/H 学外利用者 ¥2,500/H 商品コード: 22 カテゴリー: プロセス室(1階CR) 説明 説明 装置仕様 ・HF,BHF洗浄 備考 HFおよびBHFのみ使用可能です 関連商品 ALD装置 Si系材料ドライエッチング装置 高速深掘RIE 無機ドラフトチャンバー(一般酸)