無機ドラフトチャンバー(HF) ダン産業製 HSS-2000HF 装置利用料金 ¥2,500/H 関連消耗品など BHF:BHF洗浄槽薬品 ※使用回数(回) 商品コード: 22 カテゴリー: プロセス室(1階CR) 説明 説明 装置仕様 ・HF、BHFによるシリコンウエハの洗浄 ※シリコンウエハのみ使用可能 備考 関連商品 XeF2エッチャー スピンドライヤー 高速熱処理炉1 電気炉3号炉