無機ドラフトチャンバー(HF) ダン産業製 HSS-2000HF 装置利用料金 学内利用者 ¥1,250/H 学外利用者 ¥2,000/H 商品コード: 22 カテゴリー: プロセス室(1階CR) 説明 説明 装置仕様 ・HF,BHF洗浄 備考 HFおよびBHFのみ使用可能です 関連商品 スパッタ装置2 スピンドライヤー Metal系材料ドライエッチング装置 厚膜CVD