無機ドラフトチャンバー（一般酸）

装置利用料金
学内利用者　¥1,250/H

学外利用者　¥2,000/H

商品コード: 23 カテゴリー: プロセス室（1階CR）

説明

装置仕様
・HF,BHF以外の洗浄およびエッチング
備考
使用を予定している薬品がマイクロ化に登録されていなければ，新規使用申請が必要となります．使用を希望されている薬品につきましてはお問い合わせください．