説明
装置仕様
・HF,BHF以外の洗浄およびエッチング
備考
使用を予定している薬品がマイクロ化に登録されていなければ,新規使用申請が必要となります.使用を希望されている薬品につきましてはお問い合わせください.
装置利用料金
学内利用者 ¥1,250/H
学外利用者 ¥2,500/H
装置仕様
・HF,BHF以外の洗浄およびエッチング
備考
使用を予定している薬品がマイクロ化に登録されていなければ,新規使用申請が必要となります.使用を希望されている薬品につきましてはお問い合わせください.