ＰＥ－ＣＶＤ装置 サムコ製 PD-220NL 2010年3月導入 装置利用料金 学内利用者 ¥2,000/H 学外利用者 ¥3,200/H 商品コード: 3 カテゴリー: プロセス室（1階CR） 説明 説明 装置仕様 ・SiO2,SiN,a-Siの堆積 ・ロードロック式 ・基板サイズ：最大サイズ4インチ 備考 関連商品 縦型拡散炉 スピンドライヤー 電気炉１号炉 電気炉５号炉
