アッシャー1 ヤマト科学製 RP-510 2010年3月導入 装置利用料金 学内利用者 ¥1,250/H 学外利用者 ¥2,000/H 商品コード: 25 カテゴリー: プロセス室(1階CR) 説明 説明 装置仕様 ・レジスト除去 ・最大RF出力:500W ・ガス:O2,CF4 備考 関連商品 無機ドラフトチャンバー(一般酸) 電気炉2号炉 XeF2エッチャー Metal系材料ドライエッチング装置