アッシャー１ ヤマト科学製 RP-510 2010年3月導入 装置利用料金 ¥2,500/H 商品コード: 25 カテゴリー: プロセス室（1階CR） 説明 説明 装置仕様 ・レジスト除去およびシリコンのエッチング ・最大RF出力：500W ・使用可能ガス：O2、CF4 備考 関連商品 電気炉１号炉 電気炉５号炉 高速深掘RIE 電気炉４号炉
