アッシャー１ ヤマト科学製 RP-510 2010年3月導入 装置利用料金 学内利用者 ¥1,250/H 学外利用者 ¥2,500/H 商品コード: 25 カテゴリー: プロセス室（1階CR） 説明 説明 装置仕様 ・レジスト除去 ・最大RF出力：500W ・ガス：O2,CF4 備考 関連商品 厚膜CVD 減圧ＣＶＤ装置 縦型拡散炉 高速熱処理炉１
