説明
装置仕様
・レジスト除去
・最大RF出力：500W
・ガス：O2,CF4
備考
アッシャー１
ヤマト科学製 RP-510 2010年3月導入
装置利用料金
学内利用者 ¥1,250/H
学外利用者 ¥2,000/H
装置利用料金
学内利用者 ¥1,250/H
学外利用者 ¥2,000/H
装置仕様
・レジスト除去
・最大RF出力：500W
・ガス：O2,CF4
備考
