スパッタ装置３ キャノンアネルバ製 EB-1000 装置利用料金 学内利用者 ¥2000/H 学外利用者 ¥4000/H 商品コード: 99 カテゴリー: プロセス室（1階CR） 説明 説明 装置仕様 ・各種金属膜の堆積 2inchターゲット Φ4inch以下の基板対応 備考 関連商品 スピンドライヤー 電気炉５号炉 電気炉４号炉 電気炉２号炉
