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スパッタ装置３

キャノンアネルバ製 EB-1000

装置利用料金
学内利用者　¥2000/H

学外利用者　¥3200/H

商品コード: 99 カテゴリー: プロセス室（1階CR）

説明

説明

装置仕様
・各種金属膜の堆積　2inchターゲット　Φ4inch以下の基板対応

備考

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