RCA洗浄槽 ダルトン製 2010年3月導入 装置利用料金 ¥2,500/H 関連消耗品など RCA：RCA洗浄槽薬品 SPM SPM洗浄槽薬品 ※使用回数（回） 商品コード: 24 カテゴリー: プロセス室（1階CR） 説明 説明 装置仕様 ・RCA洗浄 ※シリコンウエハのみ可能 ・ピラニア洗浄 ※シリコンウエハおよび石英のみ可能 備考 関連商品 電気炉５号炉 高速熱処理炉１ スピンドライヤー 電気炉３号炉
