説明
装置仕様
・RCA洗浄(Siのみ)
・ピラニア洗浄(Si,フォトマスクのみ)
備考
RCA洗浄槽
ダルトン製 2010年3月導入
装置利用料金
学内利用者 ¥1,250/H
学外利用者 ¥2,000/H
装置利用料金
学内利用者 ¥1,250/H
学外利用者 ¥2,000/H
装置仕様
・RCA洗浄(Siのみ)
・ピラニア洗浄(Si,フォトマスクのみ)
備考
