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RCA洗浄槽

ダルトン製 2010年3月導入

装置利用料金
¥2,500/H

関連消耗品など
RCA：RCA洗浄槽薬品
SPM SPM洗浄槽薬品
※使用回数（回）

商品コード: 24 カテゴリー: プロセス室（1階CR）

説明

説明

装置仕様
・RCA洗浄
※シリコンウエハのみ可能
・ピラニア洗浄
※シリコンウエハおよび石英のみ可能
備考

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