RCA洗浄槽 ダルトン製 2010年3月導入 装置利用料金 学内利用者 ¥1,250/H 学外利用者 ¥2,500/H 商品コード: 24 カテゴリー: プロセス室(1階CR) 説明 説明 装置仕様 ・RCA洗浄(Siのみ) ・ピラニア洗浄(Si,フォトマスクのみ) 備考 関連商品 厚膜CVD Metal系材料ドライエッチング装置 縦型拡散炉 XeF2エッチャー