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イオン注入装置

ＵＬＶＡＣ製 IMX-3500 2010年3月導入

装置利用料金
学内利用者　¥2,000/H

学外利用者　¥3,200/H

商品コード: 1 カテゴリー:

説明

装置仕様
・リンおよびホウ素のイオン注入
・エネルギー範囲：20〜300keV
・最大ビーム電流：11B+（BF3ガス使用）400μA以上，31P+（PH3ガス使用）900μA以上
・最小ビーム電流：150nA
・基板サイズ：4インチウエハ、もしくは、4インチ以内に収まる不定形試料

備考

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