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イオン注入装置

ULVAC製 IMX-3500 2010年3月導入

装置利用料金
学内利用者 ¥2,000/H

学外利用者 ¥4,000/H

商品コード: 1 カテゴリー:

説明

装置仕様
・リンおよびホウ素のイオン注入
・エネルギー範囲:20〜300keV
・最大ビーム電流:11B+(BF3ガス使用)400μA以上,31P+(PH3ガス使用)900μA以上
・最小ビーム電流:150nA
・基板サイズ:4インチウエハ、もしくは、4インチ以内に収まる不定形試料

備考