説明
装置仕様
・基板サイズ：φ4インチウエハ、もしくは、4インチ以内に収まる不定形試料
・ガス種：PH3、BF3、Ar
・エネルギー範囲：10〜 300keV
・最大ビーム電流：
B+（BF3ガス使用）150nA～400μA
BF2+（BF3ガス使用）150nA～400μA
P+（PH3ガス使用）150nA～900μA
Ar+（Arガス使用）150nA～400μA
・最小ドーズ量：1×1012 cm-2
備考
イオン注入装置
ＵＬＶＡＣ製 IMX-3500 2010年3月導入
装置利用料金
¥6,000/H
関連消耗品など
J1：イオン注入装置除害剤
※PH3およびBF3ガス使用時間（分）
