縦型拡散炉 ULVAC製 V4-25LL 1996年3月導入 装置利用料金 学内利用者 ¥2,000/H 学外利用者 ¥3,200/H 商品コード: 12 カテゴリー: プロセス室（1階CR） 説明 説明 装置仕様 ・ゲート酸化膜作製用 備考 関連商品 Metal系材料ドライエッチング装置 電気炉２号炉 XeF2エッチャー 厚膜CVD
