スピンドライヤー コクサン製 SPD160RN 装置利用料金 学内利用者 ¥1,250/H 学外利用者 ¥2,000/H 商品コード: 26 カテゴリー: プロセス室（1階CR） 説明 説明 装置仕様 ・Siウェーハの乾燥 ・φ4inchウェーハカセット専用 備考 関連商品 アッシャー１ 減圧ＣＶＤ装置 イオン注入装置 XeF2エッチャー
