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スピンドライヤー

コクサン製 SPD160RN

装置利用料金
学内利用者　¥1,250/H

学外利用者　¥2,500/H

商品コード: 26 カテゴリー: プロセス室（1階CR）
  • 説明

説明

装置仕様
・Siウェーハの乾燥
・φ4inchウェーハカセット専用
備考

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Center for Microelectronic Systems
マイクロ化総合技術センター
〒820-8502
福岡県飯塚市川津680-4
国立大学法人 九州工業大学
先端研究・社会連携本部
設備共用推進部
TEL : 0948-29-7585
FAX : 0948-29-7586

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