スピンドライヤー コクサン製 SPD160RN 装置利用料金 学内利用者 ¥1,250/H 学外利用者 ¥2,500/H 商品コード: 26 カテゴリー: プロセス室(1階CR) 説明 説明 装置仕様 ・Siウェーハの乾燥 ・φ4inchウェーハカセット専用 備考 関連商品 電気炉1号炉 スパッタ装置3 Si系材料ドライエッチング装置 RCA洗浄槽