Si系材料ドライエッチング装置

装置利用料金
学内利用者　¥2,000/H

学外利用者　¥3,200/H

商品コード: 15 カテゴリー: プロセス室（1階CR）

説明

装置仕様
・Si,SiO2,SiNのエッチング
・放電方式：ICP
・ロードロック式
・到達真空度：10-4Pa台
・基板サイズ：4インチウエハ、もしくは、4インチ以内に収まる不定形基板
備考