• device15_4
  • device15_3
  • device15_2
  • device15_1
  • device15_5

Si系材料ドライエッチング装置

サムコ製 RIE-101iPH フッ素ガス仕様 2010年3月導入

装置利用料金
学内利用者 ¥2,000/H

学外利用者 ¥4,000/H

商品コード: 15 カテゴリー:

説明

装置仕様
・Si,SiO2,SiNのエッチング
・放電方式:ICP
・ロードロック式
・到達真空度:10-4Pa台
・基板サイズ:4インチウエハ、もしくは、4インチ以内に収まる不定形基板

備考