装置詳細

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  ３次元光学顕微鏡

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  ALD装置

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  DUV顕微鏡

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  FIB/SEM複合装置

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  LSIテスター

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  Metal系材料ドライエッチング装置

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  ＰＥ－ＣＶＤ装置

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  RCA洗浄槽

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  SCM/SPM装置

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  Si系材料ドライエッチング装置

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  XeF2エッチャー

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  アッシャー１

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  イオン注入装置

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  エリプソメーター

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  オートプローバー

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  オーブン