減圧ＣＶＤ装置 光洋リンドバーグ製 272-M200 装置利用料金 学内利用者 ¥2,000/H 学外利用者 ¥4,000/H 商品コード: 2 カテゴリー: プロセス室（1階CR） 説明 説明 装置仕様 ・poly-Si堆積 備考 関連商品 無機ドラフトチャンバー（一般酸） 無機ドラフトチャンバー（ＨＦ） 電気炉１号炉 電気炉３号炉
