ALD装置 Savannah S100-4PVP ケンブリッジ 装置利用料金 学内利用者 ¥2,000/H 学外利用者 ¥4,000/H 商品コード: 74 カテゴリー: プロセス室（1階CR） 説明 説明 装置仕様 備考 関連商品 ＰＥ－ＣＶＤ装置 XeF2エッチャー スパッタ装置２ 高速深掘RIE
