ALD装置 Savannah S100-4PVP ケンブリッジ 装置利用料金 学内利用者 ¥2,000/H 学外利用者 ¥4,000/H 商品コード: 74 カテゴリー: プロセス室(1階CR) 説明 説明 装置仕様 備考 関連商品 PE-CVD装置 XeF2エッチャー スパッタ装置2 高速深掘RIE