ALD装置 Savannah S100-4PVP ケンブリッジ 装置利用料金 学内利用者 ¥2,000/H 学外利用者 ¥3,200/H 商品コード: 74 カテゴリー: プロセス室（1階CR） 説明 説明 装置仕様 備考 関連商品 XeF2エッチャー 縦型拡散炉 高速熱処理炉１ 厚膜CVD
