ALD装置 Savannah S100-4PVP ケンブリッジ 装置利用料金 学内利用者 ¥2,000/H 学外利用者 ¥3,200/H 商品コード: 74 カテゴリー: プロセス室（1階CR） 説明 説明 装置仕様 備考 関連商品 電気炉４号炉 高速深掘RIE XeF2エッチャー 電気炉１号炉
