装置詳細

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  縮小投影露光装置

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  膜厚測定器

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  蒸着装置１

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  表面形状測定器２

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  表面形状測定器３

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  超臨界乾燥洗浄装置

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  電子線描画装置

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  電気炉１号炉

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  電気炉２号炉

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  電気炉３号炉

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  電気炉４号炉

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  電気炉５号炉

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  高速深掘RIE

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  高速熱処理炉１

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  高電圧カーブトレーサ＋プロ―バー