電子線描画装置

JEOL製 JBX-6300 2010年3月導入

装置利用料金
学内利用者 ¥2,000/H

学外利用者 ¥3,200/H

商品コード: 18 カテゴリー:

説明

装置仕様
・最小線幅:8nm以下(フィールド中心、100kV高分解能描画モード)
・重ね合わせ精度、フィールド接合精度:≦±20nm(100kV高分解能描画モード)
・ビーム形状:スポットビーム・加速電圧:100kV・ビーム電流:30pA~20nA
・スキャン方式:ベクタスキャン
・基板サイズ:4インチおよび5インチ角フォトマスク、Φ4インチSiウェハ対応



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2020年度の開催については、E日程(10/20-23)以降について、申し込みを受け付けております。状況によっては開催キャンセルとなる可能性がありますので、ご了承の上、申し込みをお願いいたします。

   

 

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