電子線描画装置 JEOL製 JBX-6300 2010年3月導入 装置利用料金 学内利用者 ¥2,000/H 学外利用者 ¥3,200/H 商品コード: 18 カテゴリー: フォト室（1階CR） 説明 説明 装置仕様 ・最小線幅：8nm以下（フィールド中心、100kV高分解能描画モード） ・重ね合わせ精度、フィールド接合精度：≦±20nm(100kV高分解能描画モード） ・ビーム形状：スポットビーム・加速電圧：100kV・ビーム電流：30pA～20nA ・スキャン方式：ベクタスキャン ・基板サイズ：4インチおよび5インチ角フォトマスク、Φ4インチSiウェハ対応 関連商品 クリーンオーブン マスクレス露光装置 スピンコーター1 マスクレス露光装置
