電気炉５号炉 光洋リンドバーグ製 M200,M300 装置利用料金 ¥4,000/H 商品コード: 11 カテゴリー: プロセス室（1階CR） 説明 説明 装置仕様 ・熱処理炉 ・横型炉、石英チューブ ・基板の種類：半導体材料 ・基板サイズ： 4インチウエハ 10枚 25 mm角程度の試料 5枚 ・ガス種：O2、N2 ・基板温度：<1050℃ 備考 関連商品 アッシャー１ 電気炉３号炉 電気炉４号炉 イオン注入装置
