説明
装置仕様
・基板サイズ：4インチウエハおよび20mm角以上のチップ
・基板の種類：材料限定無し
備考
電気炉５号炉
光洋リンドバーグ製 M200,M300
装置利用料金
学内利用者 ¥2,000/H
学外利用者 ¥4,000/H
装置利用料金
学内利用者 ¥2,000/H
学外利用者 ¥4,000/H
装置仕様
・基板サイズ：4インチウエハおよび20mm角以上のチップ
・基板の種類：材料限定無し
備考
