電気炉５号炉 光洋リンドバーグ製 M200,M300 装置利用料金 学内利用者 ¥2,000/H 学外利用者 ¥3,200/H 商品コード: 11 カテゴリー: プロセス室（1階CR） 説明 説明 装置仕様 ・基板サイズ：4インチウエハおよび20mm角以上のチップ ・基板の種類：材料限定無し 備考 関連商品 スパッタ装置３ 電気炉３号炉 XeF2エッチャー 電気炉１号炉
