電気炉３号炉 光洋リンドバーグ製 M200,M300 装置利用料金 学内利用者 ¥2,000/H 学外利用者 ¥4,000/H 商品コード: 9 カテゴリー: プロセス室（1階CR） 説明 説明 装置仕様 ・シンタリング用 ・基板サイズ：4インチウエハ ・基板の種類：Alのみ 備考 関連商品 縦型拡散炉 XeF2エッチャー スパッタ装置２ 電気炉２号炉
