説明
装置仕様
・シンタリング用
・横型炉、石英チューブ
・基板の種類：Al（Si、Cu）
・基板サイズ：4インチウエハ、10枚
・ガス種：N2、H2（4%）
・基板温度：<400℃
備考
電気炉３号炉
光洋リンドバーグ製 M200,M300
装置利用料金
¥4,000/H
装置利用料金
¥4,000/H
装置仕様
・シンタリング用
・横型炉、石英チューブ
・基板の種類：Al（Si、Cu）
・基板サイズ：4インチウエハ、10枚
・ガス種：N2、H2（4%）
・基板温度：<400℃
備考
