電気炉3号炉 光洋リンドバーグ製 M200,M300 装置利用料金 学内利用者 ¥2,000/H 学外利用者 ¥4,000/H 商品コード: 9 カテゴリー: プロセス室(1階CR) 説明 説明 装置仕様 ・シンタリング用 ・基板サイズ:4インチウエハ ・基板の種類:Alのみ 備考 関連商品 縦型拡散炉 XeF2エッチャー スパッタ装置2 電気炉2号炉