電気炉１号炉 光洋リンドバーグ製 M200,M300 装置利用料金 ¥4,000/H 商品コード: 7 カテゴリー: プロセス室（1階CR） 説明 説明 装置仕様 ・ドライ酸化用 ・横型炉、石英チューブ ・基板の種類：Siのみ ・基板サイズ：4インチウエハ、10枚 ・ガス種：O2、N2 ・膜厚分布：±5～10% 備考 関連商品 電気炉２号炉 アッシャー１ スパッタ装置２ スピンドライヤー
