電気炉1号炉 光洋リンドバーグ製 M200,M300 装置利用料金 学内利用者 ¥2,000/H 学外利用者 ¥4,000/H 商品コード: 7 カテゴリー: プロセス室(1階CR) 説明 説明 装置仕様 ・ドライ酸化用 ・基板サイズ:4インチウエハ ・基板の種類:Siのみ 備考 関連商品 Metal系材料ドライエッチング装置 無機ドラフトチャンバー(HF) RCA洗浄槽 高速熱処理炉1