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蒸着装置1

島津製作所製 E-250 1988年8月導入


装置利用料金
学内利用者 ¥1,250/H

学外利用者 ¥2,000/H

商品コード: 38 カテゴリー: 材料作製室(1階)
  • 説明

説明

装置仕様
・金属膜堆積

備考

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Center for Microelectronic Systems
マイクロ化総合技術センター
〒820-8502
福岡県飯塚市川津680-4
国立大学法人 九州工業大学
先端研究・社会連携本部
設備共用推進部
TEL : 0948-29-7585
FAX : 0948-29-7586

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