表面形状測定器2 SLOAN製 DEKTAK3030 1996年3月導入 装置利用料金 学内利用者 ¥500/H 学外利用者 ¥1,000/H 商品コード: 69 カテゴリー: 状態評価室(2階) 説明 説明 装置仕様 ・段差測定 備考 膜厚測定には最低200nmの厚さが必要となります. 関連商品 簡易SEM FIB/SEM複合装置 SCM/SPM装置