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表面形状測定器２

SLOAN製 DEKTAK3030 1996年3月導入

装置利用料金
学内利用者　¥500/H

学外利用者　¥800/H

商品コード: 69 カテゴリー: 状態評価室（2階）

説明

説明

装置仕様
・段差測定

備考
膜厚測定には最低200nmの厚さが必要となります．

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