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高速熱処理炉1

ULVAC製 RTP-6 2010年3月導入

装置利用料金
¥4,000/H

商品コード: 13 カテゴリー:

説明

装置仕様
・高速熱処理用
・雰囲気:N2、H2(4%)、大気、真空(~10-4 Pa)
・温度範囲:~1000℃
・最大加熱速度:10℃/sec
・基板サイズ:φ4インチ 以内
・基板厚さ:< 2 mm
・温度プロファイルデータ取得可能
備考