電気炉４号炉

説明

装置仕様
・拡散用
・基板サイズ：4インチウエハおよび20mm角以上のチップ
・基板の種類：Siのみ
備考

お知らせ： 中核人材（プロセス）教育　参加者募集中！！

2020年度の開催については、E日程(10/20-23)以降について、申し込みを受け付けております。状況によっては開催キャンセルとなる可能性がありますので、ご了承の上、申し込みをお願いいたします。