説明
装置仕様
・拡散用
・基板サイズ：4インチウエハおよび20mm角以上のチップ
・基板の種類：Siのみ
備考
電気炉４号炉
光洋リンドバーグ製 M200,M300
装置利用料金
学内利用者 ¥2,000/H
学外利用者 ¥4,000/H
装置利用料金
学内利用者 ¥2,000/H
学外利用者 ¥4,000/H
装置仕様
・拡散用
・基板サイズ：4インチウエハおよび20mm角以上のチップ
・基板の種類：Siのみ
備考
