電気炉４号炉 光洋リンドバーグ製 M200,M300 装置利用料金 学内利用者 ¥2,000/H 学外利用者 ¥3,200/H 商品コード: 10 カテゴリー: プロセス室（1階CR） 説明 説明 装置仕様 ・拡散用 ・基板サイズ：4インチウエハおよび20mm角以上のチップ ・基板の種類：Siのみ 備考 関連商品 高速熱処理炉１ 電気炉１号炉 電気炉２号炉 ＰＥ－ＣＶＤ装置
