電気炉４号炉 光洋リンドバーグ製 M200,M300 装置利用料金 ¥4,000/H 商品コード: 10 カテゴリー: プロセス室（1階CR） 説明 説明 装置仕様 ・拡散用 ・横型炉、石英チューブ ・基板の種類：Siのみ ・基板サイズ： 4インチウエハ 10枚 25 mm角程度の試料 5枚 ・ガス種：O2、N2 ・基板温度：<1050℃ 備考 関連商品 電気炉２号炉 縦型拡散炉 XeF2エッチャー 高速深掘RIE
