装置詳細

電気炉４号炉

装置利用料金
¥4,000/H

商品コード: 10 カテゴリー: プロセス室（1階CR）

説明

装置仕様
・拡散用
・横型炉、石英チューブ
・基板の種類：Siのみ
・基板サイズ：
4インチウエハ 10枚
25 mm角程度の試料 5枚
・ガス種：O2、N2
・基板温度：<1050℃
備考