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電気炉４号炉

光洋リンドバーグ製 M200,M300

装置利用料金
学内利用者　¥2,000/H

学外利用者　¥3,200/H

商品コード: 10 カテゴリー: プロセス室（1階CR）
  • 説明

説明

装置仕様
・拡散用
・基板サイズ：4インチウエハおよび20mm角以上のチップ
・基板の種類：Siのみ
備考

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Center for Microelectronic Systems
マイクロ化総合技術センター
〒820-8502
福岡県飯塚市川津680-4
国立大学法人 九州工業大学
先端研究・社会連携本部
設備共用推進部
TEL : 0948-29-7585
FAX : 0948-29-7586

アクセス

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