高速深掘RIE 800iPB サムコ 装置利用料金 学内利用者 ¥2,000/H 学外利用者 ¥4,000/H 商品コード: 75 カテゴリー: プロセス室（1階CR） 説明 説明 装置仕様 Siの深掘り 備考 関連商品 ALD装置 アッシャー１ スパッタ装置３ Si系材料ドライエッチング装置
