高速深掘RIE 800iPB サムコ 装置利用料金 学内利用者 ¥2,000/H 学外利用者 ¥3,200/H 商品コード: 75 カテゴリー: プロセス室（1階CR） 説明 説明 装置仕様 Siの深掘り 備考 関連商品 ＰＥ－ＣＶＤ装置 Metal系材料ドライエッチング装置 電気炉２号炉 厚膜CVD
