縮小投影露光装置 キャノン製 FPA-3000i5＋ 2010年3月導入 装置利用料金 学内利用者 ¥2,000/H 学外利用者 ¥4,000/H 商品コード: 19 カテゴリー: フォト室（1階CR） 説明 説明 装置仕様 ・i線露光 ［レチクル］ ・サイズ：5インチ角 ・材質：石英 ・膜：2層Cr,3層Cr ・収納レチクル数：14枚 ［ウエハ］ ・基板サイズ：Φ4インチSiウェハおよび35mm角基板 ［投影光学系］ ・倍率：1/5 ・NA：0.63～0.45 ・画面サイズ：20mm角 関連商品 スピンコーター２ スピンコーター1 電子線描画装置 マスクレス露光装置
