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縮小投影露光装置

キャノン製 FPA-3000i5＋ 2010年3月導入

装置利用料金
学内利用者　¥2,000/H

学外利用者　¥3,200/H

商品コード: 19 カテゴリー: フォト室（1階CR）

説明

説明

装置仕様
・i線露光
［レチクル］
・サイズ：5インチ角
・材質：石英
・膜：2層Cr,3層Cr
・収納レチクル数：14枚
［ウエハ］
・基板サイズ：Φ4インチSiウェハおよび35mm角基板
［投影光学系］
・倍率：1/5
・NA：0.63～0.45
・画面サイズ：20mm角

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