縮小投影露光装置

説明

装置仕様
・i線露光
［レチクル］
・サイズ：5インチ角
・厚さ：0.09インチ
・材質：石英
・膜：2層Cr,3層Cr
・収納レチクル数：14枚
［ウエハ］
・基板サイズ：Φ4インチSiウェハ
［投影光学系］
・倍率：1/5
・NA：0.63～0.45
・最大チップサイズ：20mm角