縮小投影露光装置

キャノン製 FPA-3000i5+ 2010年3月導入

装置利用料金
学内利用者 ¥2,000/H

学外利用者 ¥3,200/H

商品コード: 19 カテゴリー:

説明

装置仕様
・i線露光
[レチクル]
・サイズ:5インチ角
・材質:石英
・膜:2層Cr,3層Cr
・収納レチクル数:14枚
[ウエハ]
・基板サイズ:Φ4インチSiウェハおよび35mm角基板
[投影光学系]
・倍率:1/5
・NA:0.63~0.45
・画面サイズ:20mm角



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