説明
装置仕様
・i線露光
[レチクル]
・サイズ:5インチ角
・材質:石英
・膜:2層Cr,3層Cr
・収納レチクル数:14枚
[ウエハ]
・基板サイズ:Φ4インチSiウェハおよび35mm角基板
[投影光学系]
・倍率:1/5
・NA:0.63~0.45
・画面サイズ:20mm角
装置利用料金
学内利用者 ¥2,000/H
学外利用者 ¥4,000/H
装置仕様
・i線露光
[レチクル]
・サイズ:5インチ角
・材質:石英
・膜:2層Cr,3層Cr
・収納レチクル数:14枚
[ウエハ]
・基板サイズ:Φ4インチSiウェハおよび35mm角基板
[投影光学系]
・倍率:1/5
・NA:0.63~0.45
・画面サイズ:20mm角