表面形状測定器３

説明

装置仕様

・最大試料サイズ：φ160mmx厚さ52mm
・傾斜調整範囲：±2°
・測定力：10 µN～500 µN
・測定範囲：600 µm（分解能：0.1 nm）
・針移動速度：0.005 ～ 20mm/sec
・自動段差解析、ファイル保存などの機能

備考