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電気炉２号炉

光洋リンドバーグ製 M200,M300

装置利用料金
学内利用者　¥2,000/H

学外利用者　¥3,200/H

商品コード: 8 カテゴリー: プロセス室（1階CR）

説明

説明

装置仕様
・ドライおよびウェット酸化用
・基板サイズ：4インチウエハおよび20mm角以上のチップ
・基板の種類：Siのみ
備考

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