電気炉2号炉 光洋リンドバーグ製 M200,M300 装置利用料金 学内利用者 ¥2,000/H 学外利用者 ¥4,000/H 商品コード: 8 カテゴリー: プロセス室(1階CR) 説明 説明 装置仕様 ・ドライおよびウェット酸化用 ・基板サイズ:4インチウエハおよび20mm角以上のチップ ・基板の種類:Siのみ 備考 関連商品 Si系材料ドライエッチング装置 厚膜CVD 電気炉3号炉 電気炉5号炉