電気炉２号炉 光洋リンドバーグ製 M200,M300 装置利用料金 ¥4,000/H 商品コード: 8 カテゴリー: プロセス室（1階CR） 説明 説明 装置仕様 ・ドライおよびウェット酸化用 ・横型炉、石英チューブ ・基板の種類：Siのみ ・基板サイズ： 4インチウエハ 10枚 25 mm角程度の試料 5枚 ・ガス種：O2、N2、水蒸気（純水バブラー） ・基板温度：<1050℃ ・膜厚分布：±5～10% 備考 関連商品 スピンドライヤー XeF2エッチャー 電気炉３号炉 ALD装置
