電気炉２号炉

説明

装置仕様
・ドライおよびウェット酸化用
・横型炉、石英チューブ
・基板の種類：Siのみ
・基板サイズ：
4インチウエハ 10枚
25 mm角程度の試料 5枚
・ガス種：O2、N2、水蒸気（純水バブラー）
・基板温度：<1050℃
・膜厚分布：±5～10%
備考