説明
装置仕様
・高耐圧デバイス特性評価
[カーブトレーサ]
・岩通製カーブトレーサー
・最大ピーク電圧：3000V(高電圧モード)
・最大ピーク電流：1000A(大電流モード)
[プロ―バー]
・ベクターセミコン製プローバー
マニュアルプローブ 4台
・4インチウェハ対応ホットチャック
・制御温度範囲：30～300℃
・耐圧：3000V
・保証印可電流：20A(パルス)
備考
高電圧カーブトレーサ＋プロ―バー
岩通＋ベクターセミコン製 CS-3300 2010年3月導入
装置利用料金
¥2,500/H
