説明
装置仕様
・ウェーハ上、マスク上パターンの確認
・1ミクロン程度のパターン観察
・ステージサイズ:6インチ×6インチ
・ストローク:105mm×105mm
・測長機能あり
・4K写真撮影
・全焦点写真撮影可能
備考
装置利用料金
¥2500/H
装置仕様
・ウェーハ上、マスク上パターンの確認
・1ミクロン程度のパターン観察
・ステージサイズ:6インチ×6インチ
・ストローク:105mm×105mm
・測長機能あり
・4K写真撮影
・全焦点写真撮影可能
備考