３次元光学顕微鏡

装置利用料金
¥2500/H

商品コード: 100 カテゴリー: フォト室（1階CR）

説明

装置仕様
・ウェーハ上、マスク上パターンの確認
・1ミクロン程度のパターン観察
・ステージサイズ：6インチ×6インチ
・ストローク：105mm×105mm
・測長機能あり
・4K写真撮影
・全焦点写真撮影可能

備考