DUV顕微鏡 KLA-Tencor製 INM300DUV 2010年3月導入 装置利用料金 学内利用者 ¥1,250/H 学外利用者 ¥2,500/H 商品コード: 34 カテゴリー: フォト室（1階CR） 説明 説明 装置仕様 ・ウェーハ上、マスク上パターンの確認 ・5ミクロン以下のパターン観察 備考 関連商品 ホットプレート１ マスクレス露光装置 マスクレス露光装置 縮小投影露光装置
