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国立大学法人九州工業大学　マイクロ化総合技術センター

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DUV顕微鏡

KLA-Tencor製 INM300DUV 2010年3月導入

装置利用料金
¥2,500/H

商品コード: 34 カテゴリー: フォト室（1階CR）
  • 説明

説明

装置仕様
・ウェーハ上、マスク上パターンの確認
・サブミクロンパターンの観察
備考

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Center for Microelectronic Systems
マイクロ化総合技術センター
〒820-8502
福岡県飯塚市川津680-4
国立大学法人 九州工業大学
半導体人材育成・イノベーション推進特区
TEL : 0948-29-7585

アクセス

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