device94

エリプソメーター

ガートナ製　LSE

装置利用料金
¥2500/H

商品コード: 94 カテゴリー: 炉体室

説明

説明

装置仕様

・1波長エリプソメーター
・試料サイズ：φ6inch
・ビーム径：φ1mm
・膜厚測定範囲：数Å～6ミクロン（SiO2/Si）

備考

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