device94

エリプソメーター

ガートナ製　LSE

装置利用料金
学内利用者　¥1250/H

学外利用者　¥2000/H

商品コード: 94 カテゴリー: 炉体室

説明

説明

装置仕様

試料台：6inch ビーム径：1mmφ 測定範囲数Å～6ミクロン（SiO2/Si）

備考

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