エリプソメーター ガートナ製 LSE 装置利用料金 学内利用者 ¥1250/H 学外利用者 ¥2500/H 商品コード: 94 カテゴリー: 炉体室 説明 説明 装置仕様 試料台:6inch ビーム径:1mmφ 測定範囲数Å~6ミクロン(SiO2/Si) 備考 関連商品 膜厚測定器 四探針測定器1 ダイシェアテスト装置