フォト室（1階CR）

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  ３次元光学顕微鏡

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  DUV顕微鏡

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  クリーンオーブン

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  スピンコーター1

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  スピンコーター２

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  ホットプレート１

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  ホットプレート２

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  両面マスクアライナー

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  有機ドラフトチャンバー１

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  縮小投影露光装置

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  電子線描画装置