ホットプレート２

装置利用料金
¥1,000/H

商品コード: 32 カテゴリー: フォト室（1階CR）

説明

装置仕様
・フォトレジストなどの液体材料塗布後の乾燥
・3つのホットプレート（温度独立制御可能）
・使用可能温度：30～300℃（温度分布 5℃以内）
・基板サイズ：150 x 200 mm