スピンコーター1 ズースマイクロテック製 DELTA80 2010年3月導入 装置利用料金 学内利用者 ¥1,250/H 学外利用者 ¥2,500/H 商品コード: 28 カテゴリー: フォト室（1階CR） 説明 説明 装置仕様 ・i線レジスト塗布 ・EBレジスト塗布 ・対応基板サイズ（ギルセット使用時）：最大8インチウェハ ・対応基板サイズ（チャック使用時）：4インチおよび5インチ各フォトマスク、Φ4インチSiウェハ対応、チップ≧15mm 関連商品 DUV顕微鏡 スピンコーター２ クリーンオーブン ３次元光学顕微鏡
