説明
装置仕様
・i線レジスト塗布
・EBレジスト塗布
・対応基板サイズ(ギルセット使用時):最大8インチウェハ
・対応基板サイズ(チャック使用時):4インチおよび5インチ各フォトマスク、Φ4インチSiウェハ対応、チップ≧15mm
装置利用料金
学内利用者 ¥1,250/H
学外利用者 ¥2,500/H
装置仕様
・i線レジスト塗布
・EBレジスト塗布
・対応基板サイズ(ギルセット使用時):最大8インチウェハ
・対応基板サイズ(チャック使用時):4インチおよび5インチ各フォトマスク、Φ4インチSiウェハ対応、チップ≧15mm