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スピンコーター1

ズースマイクロテック製 DELTA80 2010年3月導入

装置利用料金
学内利用者 ¥1,250/H

学外利用者 ¥2,500/H

商品コード: 28 カテゴリー:

説明

装置仕様
・i線レジスト塗布
・EBレジスト塗布
・対応基板サイズ(ギルセット使用時):最大8インチウェハ
・対応基板サイズ(チャック使用時):4インチおよび5インチ各フォトマスク、Φ4インチSiウェハ対応、チップ≧15mm