説明
装置仕様
・i線レジスト塗布
・EBレジスト塗布
・対応基板サイズ：
φ4インチウエハ
4および5インチ角基板
15mm角以上のチップ
スピンコーター1
ズースマイクロテック製 DELTA80 2010年3月導入
装置利用料金
¥2,500/H
装置利用料金
¥2,500/H
装置仕様
・i線レジスト塗布
・EBレジスト塗布
・対応基板サイズ：
φ4インチウエハ
4および5インチ角基板
15mm角以上のチップ
