スピンコーター1

ズースマイクロテック製 DELTA80 2010年3月導入

装置利用料金
学内利用者 ¥1,250/H

学外利用者 ¥2,000/H

商品コード: 28 カテゴリー:

説明

装置仕様
・i線レジスト塗布
・EBレジスト塗布
・対応基板サイズ(ギルセット使用時):最大8インチウェハ
・対応基板サイズ(チャック使用時):4インチおよび5インチ各フォトマスク、Φ4インチSiウェハ対応、チップ≧15mm



お知らせ: 中核人材(プロセス)教育 参加者募集中!!

2020年度の開催については、E日程(10/20-23)以降について、申し込みを受け付けております。状況によっては開催キャンセルとなる可能性がありますので、ご了承の上、申し込みをお願いいたします。

   

 

Seminar2019_2