スピンコーター2 ミカサ製 MS-B150 装置利用料金 ¥2,500/H 商品コード: 29 カテゴリー: フォト室(1階CR) 説明 説明 装置仕様 ・フォトレジストなどの液体材料塗布 ・対応基板サイズ: φ0.5~φ4インチウエハ 5mm~100mm角の基板 関連商品 3次元光学顕微鏡 電子線描画装置 ホットプレート2 スピンコーター1