説明
装置仕様
・g線露光
・対応基板厚≦1.5mm（バキュームコンタクト使用時）,≦3.0mm（その他露光コンタクトモード使用時）
・対応マスク厚：0.09″,0.23″（推奨値）
・アライメント可動範囲：X軸±10mm,Y軸±5mm,θ軸±5°
・露光モード：ソフトコンタクト（ウェハの下部から真空を引きウェハを固定しながら、機械的圧力だけでマスクに押しつけるモード）、ハードコンタクト（ウェハの下部より窒素を吹き付け、ウエハをより強くマスクに押しつけるモード）および、バキュームコンタクト（マスクとウェハとの間を真空にして隙間をきわめて小さくできるモード）から選択可能
・プロキシミティ露光（マスクとウェハとの間にギャップを保って露光するモード）が可能
・プロキシミティ・ギャップ範囲：1～300μm(1μmステップで設定可）
・最大露光エリア≦W150mm
・露光タイマー：デジタル式、最大時間999秒、最小目盛り0.1秒
・基板サイズ：Φ4インチSiウェハおよび30mm角基板対応
