クリーンオーブン ヤマト科学製 DE410 2010年3月導入 装置利用料金 学内利用者 ¥1,250/H 学外利用者 ¥2,000/H 商品コード: 30 カテゴリー: フォト室(1階CR) 説明 説明 装置仕様 ・EBレジスト乾燥 関連商品 マスクレス露光装置 電子線描画装置 スピンコーター1 DUV顕微鏡