クリーンオーブン ヤマト科学製 DE410 2010年3月導入 装置利用料金 ¥2,500/H 商品コード: 30 カテゴリー: フォト室（1階CR） 説明 説明 装置仕様 ・フォトレジストなどの液体材料塗布後の乾燥 ・使用可能温度：30～260℃（精度±0.3℃@260℃） ・基板サイズ：400 mm角以下 関連商品 縮小投影露光装置 電子線描画装置 ホットプレート１ ホットプレート２
