電気炉１号炉

装置番号	7
カテゴリ	熱処理装置酸化拡散熱処理
主たる用途	熱酸化（ドライ）
装置仕様・備考	・ドライ酸化用・横型炉、石英チューブ・基板の種類：Siのみ・基板サイズ：　φ2インチウエハ：3枚　φ3インチウエハ：3枚　φ4インチウエハ：5枚　25 mm角基板：5枚・ガス種：O2、N2 ・膜厚分布：±5～10%
型番	M200,　M300
メーカー	光洋リンドバーグ
装置利用料	4,000円／時間
消耗品費など追加料金
設置場所	1Fプロセス室

九州工業大学マイクロ化総合技術センター