装置一覧
| 装置写真 | 装置名 | 装置番号 | 用途/カテゴリ | 設置場所 | 仕様 | 型番 | メーカー | 装置利用料 |
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電気炉１号炉 | 7 |
熱処理装置 酸化拡散熱処理 | 1Fプロセス室 | 熱酸化（ドライ） | M200, M300 | 光洋リンドバーグ | 4,000円／時間 |
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電気炉2号炉 | 8 |
熱処理装置 酸化拡散熱処理 | 1Fプロセス室 | 熱酸化（ドライ、ウェット） | M200、M300 | 光洋リンドバーグ | 4,000円／時間 |
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電気炉3号炉 | 9 |
熱処理装置 酸化拡散熱処理 | 1Fプロセス室 | 金属材料熱処理 | M200、M300 | 光洋リンドバーグ | 4,000円／時間 |
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電気炉4号炉 | 10 |
熱処理装置 酸化拡散熱処理 | 1Fプロセス室 | 熱酸化（ドライ）、 シリコンドーパント拡散 | M200、M300 | 光洋リンドバーグ | 4,000円／時間 |
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電気炉５号炉 | 11 |
成膜 成膜装置 熱処理装置 酸化拡散熱処理 | 1Fプロセス室 | 熱酸化（ドライ）、各種無機材料熱処理 | M200, M300 | 光洋リンドバーグ | 4,000円／時間 |
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高速熱処理炉１ | 13 |
熱処理装置 酸化拡散熱処理 | 1Fプロセス室 | 熱酸化、各種材料熱処理 | RTP-6 | ULVAC | 4,000円／時間 |
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スピンコーター1 | 28 |
イオン注入・不純物ドーピング装置 リソグラフィー関連装置 レジスト塗布 成膜 成膜装置 熱処理 熱処理装置 | 1Fフォト室 | レジスト・SOG・ポリイミドなどの塗布 | DELTA80 | ズースマイクロテック | 2,500円／時間 |
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スピンコーター2 | 29 |
イオン注入・不純物ドーピング装置 リソグラフィー関連装置 レジスト塗布 塗布 成膜装置 熱処理 熱処理装置 | 1Fフォト室 | レジスト・SOG・ポリイミドなどの塗布 | MS-B150 | ミカサ | 2,500円／時間 |
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クリーンオーブン | 30 |
乾燥 熱処理装置 | 1Fフォト室 | レジスト・SOG・ポリイミドなどの乾燥 | DE410 | ヤマト科学 | 2,500円／時間 |
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スピンコーター3 | 41 |
イオン注入・不純物ドーピング装置 リソグラフィー関連装置 レジスト塗布 成膜装置 熱処理装置 | 1F材料作製室 | レジスト・SOG・ポリイミドなどの塗布 | MS-B150 | ミカサ | 2,500円／時間 |
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小型チューブ炉 | 82 |
成膜 熱処理 熱処理装置 | 2Fマイクロ化技術室 | 熱酸化、各種材料熱処理 | KTF050N1 | KOYO | 2,500円／時間 |
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オーブン | 83 |
乾燥 熱処理装置 | 2Fマイクロ化技術室 | ダイボンディング後のエポキシ乾燥 | DX302 | Yamato | 1,000円／時間 |