装置一覧
| 装置写真 | 装置名 | 装置番号 | 用途/カテゴリ | 設置場所 | 仕様 | 型番 | メーカー | 装置利用料 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
縮小投影露光装置 | 19 |
リソグラフィー関連装置 露光 | 1Fフォト室 | i線露光（ステッパー） | FPA-3000i5＋ | キヤノン | 8,000円／時間 |
|
両面マスクアライナー | 20 |
リソグラフィー関連装置 露光 | 1Fフォト室 | 露光（コンタクトアライナー） | MA-6 | ズースマイクロテック | 4,000円／時間 |
|
スピンコーター1 | 28 |
イオン注入・不純物ドーピング装置 リソグラフィー関連装置 レジスト塗布 成膜 成膜装置 熱処理 熱処理装置 | 1Fフォト室 | レジスト・SOG・ポリイミドなどの塗布 | DELTA80 | ズースマイクロテック | 2,500円／時間 |
|
スピンコーター2 | 29 |
イオン注入・不純物ドーピング装置 リソグラフィー関連装置 レジスト塗布 塗布 成膜装置 熱処理 熱処理装置 | 1Fフォト室 | レジスト・SOG・ポリイミドなどの塗布 | MS-B150 | ミカサ | 2,500円／時間 |
|
クリーンオーブン | 30 |
乾燥 熱処理装置 | 1Fフォト室 | レジスト・SOG・ポリイミドなどの乾燥 | DE410 | ヤマト科学 | 2,500円／時間 |
|
ホットプレート1 | 31 |
ベーク リソグラフィー関連装置 | 1Fフォト室 | フォトレジスト乾燥 | TH-900 | アズワン | 1,000円／時間 |
|
ホットプレート2 | 32 |
ベーク リソグラフィー関連装置 | 1Fフォト室 | フォトレジスト乾燥 | TH-900 | アズワン | 1,000円／時間 |
|
有機ドラフトチャンバー1 | 33 |
リソグラフィー関連装置 洗浄・乾燥装置 現像 | 1Fフォト室 | 現像 / 有機溶剤による基板の洗浄 | HSS-2000 | UNION | 2,500円／時間 |
|
3次元光学顕微鏡 | 100 |
表面観察 観察 評価・観察装置 | 1Fフォト室 | 微細構造観察（光学） | VHX-7000 | Keyence | 2,500円／時間 |
| 3次元光学顕微鏡2 | 100 |
表面観察 観察 評価・観察装置 | 1Fフォト室 | 微細構造観察（光学） | VHX-X1 | Keyence | 2,500円／時間 | |
| 電界放出型走査電子顕微鏡（EDX） | 115 |
観察 評価・観察装置 | 1Fフォト室 | 微細構造観察（電子）、元素分析 | 4,000円／時間 |