表面形状測定器3

装置番号	104
カテゴリ	段差測定評価・観察装置
主たる用途	パターンの段差測定（触針式）
装置仕様・備考	・最大試料サイズ：φ160mmx厚さ52mm ・傾斜調整範囲：±2° ・測定力：10 µN～500 µN ・測定範囲：600 µm（分解能：0.1 nm）・針移動速度：0.005 ～ 20mm/sec ・自動段差解析、ファイル保存などの機能
型番	ET200A
メーカー	小坂研究所
装置利用料	2,500円／時間
消耗品費など追加料金
設置場所	1F炉体室

九州工業大学マイクロ化総合技術センター