九州工業大学 マイクロ化総合技術センター

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試作・技術事例データベース（随時追加予定）

要素技術
Cuダマシン・STI・研削
Cuダマシン・STI・研削
Deep-RIE（ボッシュ）
Deep-RIE（ボッシュ）
i線ステッパー
i線ステッパー
表面活性化接合
表面活性化接合
MEMS
アクチュエーター付き静電インクジェットノズル
アクチュエーター付き静電インクジェットノズル
バイオ
Micro- and Nano-fluidic information devices（早稲田大・馬渡研）
Micro- and Nano-fluidic information devices（早稲田大・馬渡研）
経皮吸収型マイクロニードル
経皮吸収型マイクロニードル
センサー
深海環境計測用IS-FET
深海環境計測用IS-FET（東京海洋大・下島研、海洋研究開発機構）
半導体デバイス
ガラス・プラスチック基板上の多結晶Ge薄膜トランジスタ
ガラス・プラスチック基板上の多結晶Ge薄膜トランジスタ（熊本大・山本研）
集積回路設計
16逓倍PLL (Phase-Locked-Loop)
4ビット加算器
評価用リングオシレータ