ダイサー＋マウンター
ダイサー＋マウンター
| 装置番号 | 54 |
|---|---|
| カテゴリ |
切断 後工程装置 |
| 主たる用途 | 各種基板のダイシング |
| 装置仕様・備考 | ・ブレードダイシング ・切断可能材料：Si、SiO2、Al2O3、ガーネット、SiCなど ・ダイヤモンドブレード、1.5kWスピンドル仕様 ・最大ストローク：(X軸)248mm,(Y軸)162mm ・切削可能範囲：(X軸)160mm,(Y軸162mm ・ワークサイズ設定範囲：(X軸,Y軸)～160mm,ステップ0.001mm ・送り速度入力範囲：(X軸)0.1～500mm/s ・送り速度：(X軸)500mm/s ・インデックス設定範囲：(Y軸)入力0～160mm,ステップ0.0001mm ・速度：(Y軸)150mm/s |
| 型番 | DAD322 |
| メーカー | DISCO |
| 装置利用料 | 2,500円／時間 |
| 消耗品費など追加料金 | |
| 設置場所 |
2Fマイクロ化技術室  |