高電圧カーブトレーサ＋プローバー
高電圧カーブトレーサ＋プローバー
| 装置番号 | 63 |
|---|---|
| カテゴリ |
特性評価 評価・観察装置 |
| 主たる用途 | トランジスタなどのデバイス電気的評価（高電圧） |
| 装置仕様・備考 | ・高耐圧デバイス特性評価 [カーブトレーサ] ・岩通製カーブトレーサー ・最大ピーク電圧：3000V(高電圧モード) ・最大ピーク電流：1000A(大電流モード) [プロ―バー] ・ベクターセミコン製プローバー マニュアルプローブ 4台 ・4インチウェハ対応ホットチャック ・制御温度範囲：30～300℃ ・耐圧：3000V ・保証印可電流：20A(パルス) |
| 型番 | CS-3300 |
| メーカー | 岩通＋ベクターセミコン |
| 装置利用料 | 2,500円／時間 |
| 消耗品費など追加料金 | |
| 設置場所 |
2Fマイクロ化技術室  |