イオン注入装置
イオン注入装置
| 装置番号 | 1 |
|---|---|
| カテゴリ |
イオン注入 |
| 主たる用途 | P、B、Arのイオン注入 |
| 装置仕様・備考 | ・基板サイズ：φ4インチウエハ、もしくは、4インチ以内に収まる不定形試料 ・ガス種：PH3、BF3、Ar ・エネルギー範囲：10〜 300keV ・最大ビーム電流： B+（BF3ガス使用）150nA～400μA BF2+（BF3ガス使用）150nA～400μA P+（PH3ガス使用）150nA～900μA Ar+（Arガス使用）150nA～400μA ・最小ドーズ量：1x1012 cm-2 |
| 型番 | IMX-3500 |
| メーカー | ULVAC |
| 装置利用料 | 6,000円／時間 |
| 消耗品費など追加料金 | J1：イオン注入装置除害剤 ※PH3およびBF3ガス使用時間（分） |
| 設置場所 |
1Fプロセス室  |