材料作製室（1階）

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  CMP装置

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  オーブン１

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  オーブン２

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  スピンコーター3

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  ブラシ洗浄装置

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  ホットプレート３

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  マスクレス露光装置

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  マスクレス露光装置

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  光学顕微鏡２

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  有機ドラフトチャンバー３

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  有機ドラフトチャンバー４

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  無機ドラフトチャンバー２

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  蒸着装置１