マスクレス露光装置

装置利用料金

\4000/H

商品コード: 95 カテゴリー: 材料作製室（1階）

説明

装置仕様

・光源：g線 h線、i線
・試料サイズ：25 mm角以下
・描画データ形式：dxf、gdsII
・最小描画線幅： 5ミクロン
※フォトレジストの厚さに依存
・併せ精度：10ミクロン

備考