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マスクレス露光装置

ネオアーク製 PALET

装置利用料金

学内利用者　\2000/H

学外利用者　\3200/H

商品コード: 95 カテゴリー: フォト室（1階CR）

説明

説明

装置仕様

・露光　25㎜角以下の試料　分解能：5ミクロン

備考

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