マスクレス露光装置 ネオアーク製 PALET 装置利用料金 \4000/H 商品コード: 95 カテゴリー: フォト室(1階CR) 説明 説明 装置仕様 ・光源:g線 h線、i線 ・試料サイズ:25 mm角以下 ・描画データ形式:dxf、gdsII ・最小描画線幅: 5ミクロン ※フォトレジストの厚さに依存 ・併せ精度:10ミクロン 備考 関連商品 縮小投影露光装置 スピンコーター2 DUV顕微鏡 マスクレス露光装置