光学顕微鏡2 NIKON製 エクリプスL200AF 2010年3月導入 装置利用料金 学内利用者 ¥1,250/H 学外利用者 ¥2,000/H 商品コード: 35 カテゴリー: フォト室(1階CR) 説明 説明 装置仕様 ・ウェーハ上、マスク上パターンの確認 ・5ミクロン以上のパターン観察 ・ステージサイズ:8インチ×8インチ ・ストローク:205mm×205mm 備考 関連商品 DUV顕微鏡 3次元光学顕微鏡 縮小投影露光装置 電子線描画装置