装置詳細

光学顕微鏡２

装置利用料金
¥2,500/H

商品コード: 35 カテゴリー: フォト室（1階CR）

説明

装置仕様
・ウェーハ上、マスク上パターンの確認
・1ミクロン程度のパターン観察
・ステージサイズ：8インチ×8インチ
・ストローク：205mm×205mm
・裏面照射機能あり
・測長機能あり
備考