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光学顕微鏡2

NIKON製 エクリプスL200AF 2010年3月導入

装置利用料金
学内利用者 ¥1,250/H

学外利用者 ¥2,500/H

商品コード: 35 カテゴリー:

説明

装置仕様
・ウェーハ上、マスク上パターンの確認
・5ミクロン以上のパターン観察
・ステージサイズ:8インチ×8インチ
・ストローク:205mm×205mm

備考