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光学顕微鏡2

NIKON製 エクリプスL200AF 2010年3月導入

装置利用料金
¥2,500/H

商品コード: 35 カテゴリー:

説明

装置仕様
・ウェーハ上、マスク上パターンの確認
・1ミクロン程度のパターン観察
・ステージサイズ:8インチ×8インチ
・ストローク:205mm×205mm
・裏面照射機能あり
・測長機能あり
備考