装置詳細

光学顕微鏡

装置利用料金
¥1,000/H

商品コード: 84 カテゴリー: マイクロ化技術室（2階）

説明

装置仕様
・ウェーハ上、マスク上パターンの確認
・1ミクロン程度のパターン観察
・ステージサイズ：4インチ×4インチ
・ストローク：105mm×105mm

備考