説明
装置仕様
・各種レジストの現像
・有機溶剤による基板の洗浄
※廃液はボトルに貯蔵
備考
有機ドラフト（イエローブース）
Dan-Takuma製
装置利用料金
¥2500/H
装置利用料金
¥2500/H
装置仕様
・各種レジストの現像
・有機溶剤による基板の洗浄
※廃液はボトルに貯蔵
備考
